仪器信息网 “万里行” 国产仪器走进胜科纳米助推半导体检测手段国产化

　　仪器信息网 “万里行” 国产仪器走进胜科纳米，助推半导体检测手段国产化

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　　仪器信息网讯2025年7月3日下午，2025 年仪器信息网 “万里行” 系列活动——“国产仪器赋能半导体之走进胜科纳米高层闭门会”在胜科纳米(苏州)股份有限公司苏州总部召开。仪器信息网特邀13家国产仪器企业代表走进胜科纳米，围绕半导体实验室对仪器技术的需求、国产仪器技术发展进展、多方生态合作等议题展开深入交流。胜科纳米董事长李晓旻携公司高层及技术与实验室负责人等热情接待了走访一行人员。

　　半导体检测分析是芯片良率管控的核心环节，对设备精度、稳定性和响应速度要求极高。近年来，在国家“自主创新”战略驱动下，诸多国产仪器企业逐步突破技术壁垒，在半导体产业端应用率仍不足。为加速破局，仪器信息网发起本次闭门会，依托胜科纳米真实检测场景与行业标杆效应，推动国产仪器设备企业与用户端深度对话，共筑技术攻坚-验证-合作的闭环生态。

　　第三届半导体第三 方分析 检测生态圈战略大会上的共识。当时参观胜科纳米北京亦庄新实验室时，看到国产仪器设备在半导体产业端渗透率不足，存在信息安全等潜在风险，她与李晓旻董事长迅速达成举办闭门会的共识，仅用半个月便促成此次相聚。

　　她提到，国家高度重视国产科学仪器发展进程，仪器信息网深耕科学仪器行业 26年，见证了国产仪器企业的艰难发展与坚持。本次半导体主题 “万里行” 首站选择胜科纳米，旨在推动国产仪器企业与龙头用户深度合作，提升产业链韧性。期望通过此次会议，促进双方实质性合作，在人才培养、科研共创、标准建立等方面展开深入合作，助力国产仪器突破困境，保障半导体产业链安全。

　　仪器进步需扎根产业需求，而非仅依赖高校研发，并呼吁国家补贴应向应用端倾斜，支持用户与厂商联合研发。胜科纳米与赛默飞世尔科技的合作就印证了下游应用对巨头企业的反向推动作用。胜科纳米近来自主采购国产仪器超千万元，但对合作企业有高的质量要求。他直言，部分企业依赖补贴、不愿迭代的心态导致合作失败，呼吁企业聚焦技术突破。胜科纳米愿与硬核企业共啃技术骨头，但前提是：企业必须敢以技术穿透力直面全球竞争，而非把‘国产替代’当护身符！

　　接着，李晓旻介绍了胜科纳米的整体概况。胜科纳米（苏州）股份有限公司成立于2012年，主要从事半导体第三方实验室检测分析服务，致力于打造专业高效的一站式检测分析平台。苏州公司为全球总部，建筑面积超过7万平米，总投资超过10亿元，已于2025年年初投入使用。技术部门分为五大板块，出了口承接标准化服务的传统业务；第五大板块——技术研发部是核心，承担两大使命：一是攻克无先例的非标案例，二是从非标案例中提炼标准化成分反哺传统业务，形成 “研发驱动生产、生产催生新研发” 的闭环。目前，胜科纳米服务全球 2500 家企业，涵盖半导体全产业链，拥有数百项核心技术。其检测业务附加值显著，凭借技术创新和闭环生态，成为第三方半导体检测领域的标杆。

　　仪器信息网自2013年启动“国产科学仪器腾飞行动”，其子活动“国产好仪器”项目，以“用户说好才是真的好”为理念，通过用户调研、典型实验室走访、厂商验厂等方式，筛选经市场检验的优秀国产仪器，助力解决国产仪器信任难、推广难问题。12年来，项目累计吸引近500家企业、1000余台仪器申报，评选出400余台“国产好仪器”，吸引600万用户关注。项目近年创新举措包括：构建国产仪器选型数据库，服务海关等单位采购需求；联合头部实验室建立“应用体验中心”，推动用户参与仪器优化迭代；联合中国认证认可协会推出国产仪器认证标准，提升品牌公信力。目前已与苏州实验室、北京理化分析测试中心、清华大学等达成合作，未来将持续搭建厂商与用户的桥梁，助力国产仪器突破高端市场。

　　江苏天瑞仪器股份有限公司董事长刘召贵以“需求驱动研发”为核心，强调半导体在线分析技术突破。其XRF设备已在晶圆厂实现纳米级表面成分在线检测，并开发出全球领先的多品种检测平台。苏州博众仪器科技有限公司总经理唐爱权表示，公司聚焦国产高端透射电镜，从北航受让专利起步，历时五年，克服多重困难，6 月28日发布 200kV热场透射电镜，已获高校及企业订单，全链条自主研制镜筒、探测器等核心部件。安徽泽攸科技有限公司应用与技术支持部门经理陈选羽表示，公司深耕电镜原位附件及台式电镜，在低温原子分辨成像等方面有突破，历时7年完善台式电镜产品线，建议完善供应链，以解决核心部件依赖进口等挑战。钢研纳克检测技术股份有限公司ICP-MS产品经理王小龙表示，公司从钢铁材料检测起步，仪器产品战略向大尺寸和小尺寸拓展。推出ICP-MS质谱仪，历经多代迭代，性能对标进口设备；扫描电镜有4 款主流型号，具备多模式观测能力，适用于钢铁等材料检测。百实创(北京)科技有限公司总经理李海鑫表示，公司聚焦透射电镜原位技术，产品可在多外场下观测样品变化，透射电镜原位系统实现1200℃+应力组合场原子动态观测，应用于芯片热失效分析，已实现国产替代并拓展国际市场。苏州浪声科学仪器有限公司总经理杜亚明表示，公司产品线涵盖 XRF、XRD 、桌面式扫描电镜等，全球首创TXRF便携设备（100ppt检出限），用于晶圆表面污染物检测。集成XRD“彩谱+物相分析”，薄膜检测下限1-3nm。天津三英精密仪器股份有限公司副总经理郑立才表示，公司专注X射线三维 CT，布局全球，结合 AI 技术，推出纳米 CT 等产品，无损解析芯片TSV通孔、BGA焊点缺陷。布局开发半导体专用离线高分辨CT与在线检测机型，并获英伟达PCB检测订单。致真精密仪器（青岛）有限公司市场总监唐忠杰表示，其产品围绕磁学及相关领域，包括磁光克尔显微镜等磁测量设备、低温超导磁场探测台等磁场探测台系列、磁性芯片产线 年开发的原子力显微镜。包括科研级和晶圆级，产品性能对标国际品牌等等。

　　需求精准匹配。天瑞仪器提到的信息不对称问题引发共鸣，大家指出国产仪器普遍面临“验证场景缺失”问题。以钢研纳克ICP-MS为例，胜科纳米提出单晶硅消解中钾钠污染控制需求，推动其开发耐高盐提取透镜技术；浪声科学XRD超薄膜检测案例则引发多家企业探讨晶圆衬底适配方案等。

　　技术攻坚方向。如能谱仪信噪比方面：胜科纳米专家提出桌面电镜集成EDS的可行性，企业代表现场展示低真空下实时成像数据，双方约定送样验证工业级需求。电镜稳定性方面，国产电镜企业代表提出抗震/抗电磁干扰设计，联合攻关半导体级离子泵、高真空阀门等核心部件国产化建议。检测效率提升方面，三英精密CT设备解析芯片盲孔耗时较长，专家建议开发AI算法加速缺陷识别等。

　　产学研协同机制。天瑞仪器董事长刘召贵强调：“仪器创新源于用户‘古怪需求’。”胜科纳米专家表示愿意加强产线验证场景合作，并联合仪器信息网搭建需求池等。现场大家也形成共识：国产仪器需从“参数对标”转向“场景创新”，通过深度绑定头部用户加速迭代。

　　本次仪器信息网 “万里行” 系列活动之 “国产仪器赋能半导体” 闭门会，以胜科纳米为纽带，让国产仪器企业与半导体检测龙头用户实现了从技术展示到需求对接的深度联动。从企业路演的技术突破到圆桌讨论的痛点攻坚，从实验室场景的直观感知到生态构建的共识凝聚，这场对话不仅勾勒出国产仪器在半导体领域的突围路径，更夯实了 “用户 - 厂商 - 平台” 协同创新的根基。未来，随着 “国产好仪器” 等项目的持续推进，以及胜科纳米等龙头企业的开放合作，国产仪器将加速从 “跟跑” 向 “并跑”“领跑” 跨越，并为半导体产业链安全筑起坚实屏障。

　　多年来，仪器信息网“国产好仪器”始终坚持以“用户说好才是真的好”为宗旨，以用户长期使用的真实反馈为基础，筛选出品质卓越、性能稳定的国产佳品，并为之代言，助力国产科学仪器的崛起。如今，全新“国产好仪器”再度扬帆起航，欢迎更多的优秀国产仪器厂商参报，了解更多相关信息或报名参加“国产好仪器”可